超高纯气体露点变送PUR-2W-M12

超高纯气体露点变送PUR-2W-M12

测量范围-120~40℃，电抛光

Pura高纯气体露点变送器是Michel专为半导体行业设计的露点仪，这款小巧的变送器拥有坚固而独立的传感器，专门用来测量超高纯气体中的微量水分含量。

超高纯气体露点变送PUR-2W-M12使用和安装简单，可选两线制、三线制和危险区域的型号，是一款可自定义的产品，可以满足各种特殊需求。

特征

• 测量范围min可达-120°Cdp (1ppbV)

• 稳定而可重复的测量

• 模拟和数字输出

• 1/4"MVCR 过程连接

• 可选的显示/报警单元

• 可选危险区域认证

应用

• 半导体制造

• 高纯气

• 光纤生产

• 光学镀膜工艺

型号选择：

老型号：PUR-TX-2W-M12-PRM                  新型号：PUR-2W-M12 -AA

老型号:  PUR-AOL2-PRM-C1-DC-SCO5-MC05-12    新型号:  PUR-AOL2-A-A-B

新型号：PUR-TX-2W-AA

PUR-2W-M12

• PUR-TX-2W – 两线制 4-20mA

• PUR-TX-3W – 三线制 4-20mA

• PUR-IS-2W – 防爆型，两线制4-20mA

防爆认证：

ATEX/UKCA: II 1 G Ex ia IIC T4 Ga (-20...+70 °C)

IECEx: Ex ia IIC T4 Ga (-20...+70 °C)

TR CU: 0Ex ia IIC T4 Ga (-20...+70 °C)

cQPSus: Class I, Division 1, Groups A, B, C & D, T4

Class I, Zone 0, AEx ia IIC T4 Ga, Ex ia IIC T4 Ga Tamb +70 °C

测量原理

陶瓷阻抗传感器

Michell密析尔的陶瓷湿度传感器采用独特的厚薄膜技术。

露点仪采用阻抗技术，基于水分子的导电性。

在半导体化的陶瓷基底上，均匀的敷涂了金属导电层。导电层之

间的感湿层能感受到气体样品中的水蒸气分压。水气分压决定了

水分子进入感湿层的水分子的数量，即对应于导电层之间的阻抗

值。露点值和水气分压有一一对应关系。经过校验，阻抗值和露

点值的对应关系建立起来，被储存在变送器的芯片中。

传感器采用半导体极的陶瓷材料作为基底，给予传感器高的结

构强度和均匀特性。

使Michell密析尔湿度传感器具备其他氧化铝传感器不可匹配的稳定性。